Многослойное осаждение
Технологическая задача проекта — автоматизировать формирование заданной последовательности слоёв.
ElectroLit / AuSn
Автоматизация
электрохимического
формирования преформ
Разрабатываемая компактная установка для последовательного электрохимического осаждения многослойных металлических покрытий и формирования преформ AuSn для электронной упаковки.
Запрос бесплатный. Это обращение за КП, не оплата и не заключение договора.
КОНЦЕПТУАЛЬНАЯ ВИЗУАЛИЗАЦИЯEL–01
01Компактная
архитектура
архитектура
01 / ГАБАРИТЫ705 × 984 × 610 мм
02 / ЗАГОТОВКА60 × 48 мм
03 / ОСНАСТКАКассеты загрузка и выгрузка
РАЗРАБОТКАРабочий прототип
01 / ОБ УСТАНОВКЕ
Точный процесс.
Продуманная механика.
ElectroLit — разрабатываемая автоматизированная установка для последовательного электрохимического осаждения многослойных металлических покрытий и формирования преформ из сплава золото–олово (AuSn).
Проект ориентирован на задачи электронной упаковки, включая микроэлектронику и СВЧ-электронику. Установка объединяет рабочие ванны, кассеты загрузки и выгрузки, промывочный и сушильный модули, а также систему перемещения держателя с пластиной.
Посмотреть принцип работыАвтоматизированный перенос
Портальный механизм перемещает по осям X, Y и Z держатель с заготовкой; для захвата предусмотрен электромагнит.
Контроль параметров
В конструкции предусмотрены сенсорный интерфейс и контроль технологических параметров.
02 / ТЕХНОЛОГИЯ
Технологический маршрут
установки
Проектом предусмотрена последовательность операций; состав маршрута и рабочие режимы подбираются под задачу заказчика и подтверждаются при испытаниях.
Загрузка
Пластина закрепляется в держателе и размещается в загрузочной кассете.
Осаждение
Держатель с пластиной перемещается в реакторную ванну для электрохимического осаждения.
Промывка
Держатель проходит промывку для удаления остатков технологического раствора.
Сушка
Держатель сушится потоком воздуха, направленным сверху вниз, затем возвращается в кассету.
Автоматизированный перенос между операциями
03 / КОНСТРУКЦИЯ
Компоновка
для лабораторной
и опытной отработки
Параметры приведены по проектной документации. Фактическая конфигурация и готовность к поставке уточняются при запросе КП.
Обсудить конфигурациюГабариты установки705 × 984 × 610 ммДлина × ширина × высота, по проектному описанию
Размер пластины60 × 48 ммПластина фиксируется в держателе
Загрузка и выгрузкаКассетные модулиВместимость зависит от конфигурации кассет
Перемещение3 осиПортальная система с электромагнитным захватом
Промывка2 держателяОдновременная промывка двух держателей
УправлениеСенсорноеПанель оператора и контроль параметров
04 / ХОД ПРОЕКТА
От инженерной идеи
к рабочему прототипу
ЛАБОРАТОРНАЯ СБОРКА
01 / ФРОНТАЛЬНЫЙ ВИД
02 / КОРПУС И РАБОЧАЯ ЗОНА
03 / ЭЛЕМЕНТЫ КОНСТРУКЦИИ↗
Статус проекта. Изготовлен и собран рабочий прототип, проверены отдельные механические узлы, система перемещения и интерфейс. Отработка электрохимических режимов и подтверждение характеристик продолжаются. Значения производительности и точности будут публиковаться после испытаний.
05 / ОБСУДИТЬ ПРОЕКТ
Запросите
коммерческое
предложение
Расскажите, для какой задачи нужна установка. Команда ElectroLit свяжется с вами, чтобы уточнить конфигурацию и подготовить КП.
✓Бесплатный запросНа этом этапе оплата не требуется
ПРИ ПОДДЕРЖКЕ
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОДДЕРЖКА
Проект реализуется
при поддержке Фонда
Проект реализуется при поддержке Фонда содействия инновациям в рамках программы «Студенческий стартап» мероприятия «Платформа университетского технологического предпринимательства» федерального проекта «Технологии».
